扫描电子显微镜(SEM)的零件
扫描电子显微镜的主要组件包括:
- 电子源–这是在1-40kV的电压下通过热产生电子的地方。电子会凝结成束,用于创建模拟图像和分析。可以使用三种类型的电子源。e钨丝,六硼化镧和场发射枪(FEG)
- 透镜–它有几个聚光透镜,将来自源的电子束聚焦通过柱,形成一个狭窄的电子束,形成一个称为光斑尺寸的光斑。
- 扫描线圈–用于将光束偏转到样品表面。
- 探测器–由几个探测器组成,这些探测器能够区分二次电子,反向散射电子和衍射反向散射电子。检测器的功能很大程度上取决于电压速度,样品密度。
- 显示设备(数据输出设备)
- 电源供应
- 真空系统
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